小白:真空泵要如何选用?

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真空泵的选择

1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如：真空涂层要求1×真空度为10-5mmHg，真空泵的真空度至少为5×10-6mmHg。泵的真空度通常比真空设备的真空度高半到一个数量级。

2、真空泵的工作点选择正确。每个泵都有一定的工作压力范围，如扩散泵为10-3~10-7mmHg，在此宽压力范围内，泵的泵速随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，而不是在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是，钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压力应小于1×10-5mmHg为好。

3、在工作压力下，真空泵应能够排出真空设备过程中产生的所有气体量。

4、真空泵的正确组合。由于真空泵有选择性泵送，有时选择泵不能满足泵送要求，需要多个泵组合，相互补充以满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢的泵送速度很高，但不能泵送氦，而三极溅射离子泵（或二极非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的泵送速度，两者的结合将使真空装置获得更好的真空度。此外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有些真空泵出口压力低于大气压，需要前泵，所以泵需要组合使用。

5、真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油，应选择各种无油泵，如水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，您可以选择油泵，加上一些防油污染措施，如加入冷陷阱、障碍物、油陷阱等，也可以满足清洁真空的要求。

6、了解泵送气体的成分，气体是否含有冷凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。在选择真空泵时，您需要了解气体成分，并为泵送气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体，则应考虑在泵的进气管道上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出的油蒸气对环境有什么影响？若环境不允许污染，可选择无油真空泵，或将油蒸气排放到室外。

8、真空泵工作时产生的振动是否会影响工艺过程和环境。工艺过程不允许的，应选择无振动泵或采取防振措施。

9、真空泵的价格、运行和维护费用。

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